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氣體質量流量計【簡稱MFM】基于內部補償型*層流壓差技術，內置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異，可快速精確測量過程氣體的實時溫度、壓力、工況流量、標況流量和累計流量五大參數。用于精確和快速測量氣體流量、泄露率檢測或作為標準表進行量值傳遞與校準等。
氣體質量流量控制器【簡稱MFC】基于內部補償型層流壓差技術，內置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異，通過精密電磁比例調節閥自動控制氣體流量，從而提供更加準確和穩定的流量測量和控制。層流質量流量控制器可作為主要設備在高校科研院所和廣泛的工業過程自動化控制中使用。
