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易度智能MC100系列,是一款高性能低漂移量氣體質量流量控制器,具有極低的溫度漂移和壓力漂移量,可以確保產品長期使用的穩定性和可靠性,減少維護、調試、校準的頻率,降低客戶維護成本。
易度智能高可靠高性能質量流量控制器采用內部補償型層流壓差技術,可從根本上抑制MFC的零漂、溫漂、壓漂現象,流體在寬流量范圍內仍舊保持層流運動,內置壓力傳感器和溫度傳感器,能充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異。